ស្រទាប់ខាងក្រោម LaAlO3
ការពិពណ៌នា
ឡាអាឡូ3គ្រីស្តាល់ទោលគឺជាវត្ថុឧស្សាហកម្មដ៏សំខាន់បំផុតដែលមានទំហំធំបំផុត ស្រទាប់ខាងក្រោមនៃស្រទាប់ស្តើងនៃវត្ថុធាតុគ្រីស្តាល់ដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ខ្ពស់។ការលូតលាស់របស់វាជាមួយនឹងវិធីសាស្ត្រ Czochralski អង្កត់ផ្ចិត 2 អ៊ីញ និងគ្រីស្តាល់តែមួយធំជាង ហើយស្រទាប់ខាងក្រោមអាចទទួលបាន វាសមស្របសម្រាប់ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកមីក្រូវ៉េវដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (ដូចជាការទំនាក់ទំនងចម្ងាយឆ្ងាយនៅក្នុងតម្រងមីក្រូវ៉េវដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ជាដើម)។
ទ្រព្យសម្បត្តិ
| រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់ | M6 (សីតុណ្ហភាពធម្មតា) | M3 (> 435 ℃) |
| ឯកតាកោសិកាថេរ | M6 a=5.357A c=13.22 A | M3 a=3.821 A |
| ចំណុចរលាយ (℃) | ២០៨០ | |
| ដង់ស៊ីតេ (ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ3) | ៦.៥២ | |
| រឹង (Mho) | ៦-៦.៥ | |
| ការពង្រីកកំដៅ | ៩.៤x១០-6/ ℃ | |
| ថេរ Dielectric | ε=21 | |
| ការបាត់បង់ផ្នែក (10ghz) | ～ 3 × 10-4@300k,～0.6×10-4@77k | |
| ពណ៌និងរូបរាង | ដើម្បី anneal និងលក្ខខណ្ឌខុសគ្នាពីពណ៌ត្នោតទៅ brownish | |
| ស្ថេរភាពគីមី | សីតុណ្ហភាពក្នុងបន្ទប់មិនរលាយក្នុងសារធាតុរ៉ែទេ សីតុណ្ហភាពលើសពី 150 ℃ក្នុង h3po4 រលាយ | |
| ចរិកលក្ខណៈ | សម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចមីក្រូវ៉េវ | |
| វិធីសាស្រ្តលូតលាស់ | វិធីសាស្រ្ត Czochralski | |
| ទំហំ | 10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20, | |
| Ф15, Ф20, Ф1", Ф2", Ф2.6" | ||
| កម្រាស់ | 0.5mm, 1.0mm | |
| ប៉ូលា | ទោល ឬទ្វេ | |
| ការតំរង់ទិសគ្រីស្តាល់ | ＜100＞＜110＞＜111＞ | |
| ភាពជាក់លាក់នៃការបញ្ជូនបន្ត | ± 0.5° | |
| ប្តូរទិសគែម | 2° (ពិសេសក្នុង 1°) | |
| មុំនៃគ្រីស្តាល់ | ទំហំពិសេស និងការតំរង់ទិសអាចរកបានតាមការស្នើសុំ | |
| Ra | ≤5Å (5µm × 5µm) | |
| ខ្ចប់ | ថង់ស្អាត 100 ថង់ស្អាត 1000 | |
អត្ថប្រយោជន៍នៃថេរ Dielectric ទាប
កាត់បន្ថយការបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយសញ្ញា៖ នៅក្នុងសៀគ្វីអេឡិចត្រូនិច និងប្រព័ន្ធទំនាក់ទំនង ថេរ dielectric ទាបជួយកាត់បន្ថយការបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយសញ្ញា។សមា្ភារៈ dielectric អាចប៉ះពាល់ដល់ការផ្សព្វផ្សាយនៃសញ្ញាអគ្គិសនីបណ្តាលឱ្យបាត់បង់សញ្ញានិងការពន្យាពេល។សមា្ភារៈ Low-k កាត់បន្ថយផលប៉ះពាល់ទាំងនេះ ធ្វើឱ្យការបញ្ជូនសញ្ញាត្រឹមត្រូវជាងមុន និងធ្វើឱ្យប្រព័ន្ធដំណើរការទាំងមូលប្រសើរឡើង។
ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវប្រសិទ្ធភាពនៃអ៊ីសូឡង់: ជាញឹកញាប់វត្ថុធាតុ Dielectric ត្រូវបានគេប្រើជាអ៊ីសូឡង់ដើម្បីញែកសមាសធាតុចរន្ត និងការពារការលេចធ្លាយ។សមា្ភារៈថេរ dielectric ទាបផ្តល់នូវអ៊ីសូឡង់មានប្រសិទ្ធិភាពដោយកាត់បន្ថយថាមពលដែលបាត់បង់ទៅនឹងការភ្ជាប់អេឡិចត្រូស្ទិចរវាង conductors នៅជាប់គ្នា។លទ្ធផលនេះបង្កើនប្រសិទ្ធភាពថាមពល និងកាត់បន្ថយការប្រើប្រាស់ថាមពលនៃប្រព័ន្ធអគ្គិសនី។
