ស្រទាប់ខាងក្រោម MgF2
ការពិពណ៌នា
MgF2 ត្រូវបានប្រើជាកញ្ចក់ ព្រីស និងបង្អួចសម្រាប់រលកចម្ងាយពី 110nm ដល់ 7.5μm។វាគឺជាសម្ភារៈដែលសមស្របបំផុតជាបង្អួចសម្រាប់ ArF Excimer Laser សម្រាប់ហេតុផលនៃការបញ្ជូនដ៏ល្អរបស់វានៅ 193nm ។វាក៏មានប្រសិទ្ធភាពផងដែរដូចជាប៉ូលអុបទិកនៅក្នុងតំបន់អ៊ុលត្រាវីយូឡេ។
ទ្រព្យសម្បត្តិ
| ដង់ស៊ីតេ (ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ3) | ៣.១៨ |
| ចំណុចរលាយ (℃) | ១២៥៥ |
| ចរន្តកំដៅ | 0.3 Wm-1K-1 នៅ 300K |
| ការពង្រីកកំដៅ | 13.7 x 10-6 / ℃ អ័ក្ស c ប៉ារ៉ាឡែល 8.9 x 10-6 / ℃ អ័ក្ស c កាត់កែង |
| ភាពរឹងរបស់ Knoop | 415 ជាមួយ 100g ចូលបន្ទាត់ (kg/mm2) |
| សមត្ថភាពកំដៅជាក់លាក់ | 1003 J/(kg.k) |
| ថេរ Dielectric | 1.87 នៅ 1MHz អ័ក្ស c ប៉ារ៉ាឡែល 1.45 នៅ 1MHz អ័ក្ស c កាត់កែង |
| ម៉ូឌុលយុវជន (E) | 138.5 GPa |
| ម៉ូឌុលកាត់ (G) | 54.66 GPa |
| ម៉ូឌុលភាគច្រើន (K) | 101.32 GPa |
| មេគុណ Elastic | C11=164;C12=53;C44 = 33.7 C13=63;C66=96 |
| ដែនកំណត់ Elastic ជាក់ស្តែង | 49.6 MPa (7200 psi) |
| សមាមាត្រ Poisson | ០.២៧៦ |
និយមន័យស្រទាប់ខាងក្រោម MgF2
ស្រទាប់ខាងក្រោម MgF2 សំដៅទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដែលធ្វើពីសារធាតុគ្រីស្តាល់ម៉ាញ៉េស្យូមហ្វ្លុយអូរី (MgF2) ។MgF2 គឺជាសមាសធាតុអសរីរាង្គដែលផ្សំឡើងដោយធាតុម៉ាញ៉េស្យូម (Mg) និង fluorine (F) ។
ស្រទាប់ខាងក្រោម MgF2 មានលក្ខណៈសម្បត្តិគួរឱ្យកត់សម្គាល់ជាច្រើនដែលធ្វើឱ្យពួកវាពេញនិយមនៅក្នុងកម្មវិធីផ្សេងៗ ជាពិសេសក្នុងវិស័យអុបទិក និងការទម្លាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើង៖
1. តម្លាភាពខ្ពស់៖ MgF2 មានតម្លាភាពល្អឥតខ្ចោះនៅក្នុងតំបន់អ៊ុលត្រាវីយូឡេ (UV) ដែលអាចមើលឃើញ និងអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ (IR) នៃវិសាលគមអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិច។វាមានជួរបញ្ជូនទូលំទូលាយពីអ៊ុលត្រាវីយូឡេនៅប្រហែល 115 nm ទៅអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដនៅប្រហែល 7,500 nm ។
2. សន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរទាប៖ MgF2 មានសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរទាប ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាសម្ភារៈដ៏ល្អសម្រាប់ថ្នាំកូត AR និងអុបទិក ព្រោះវាកាត់បន្ថយការឆ្លុះបញ្ចាំងដែលមិនចង់បាន និងកែលម្អការបញ្ជូនពន្លឺ។
3. ការស្រូបទាប៖ MgF2 បង្ហាញពីការស្រូបទាបនៅក្នុងតំបន់អ៊ុលត្រាវីយូឡេ និងតំបន់ដែលអាចមើលឃើញ។ទ្រព្យសម្បត្តិនេះធ្វើឱ្យវាមានប្រយោជន៍ក្នុងកម្មវិធីដែលទាមទារភាពច្បាស់លាស់អុបទិកខ្ពស់ ដូចជាកញ្ចក់ ព្រីស និងបង្អួចសម្រាប់កាំរស្មីអ៊ុលត្រាវីយូឡេ ឬធ្នឹមដែលអាចមើលឃើញ។
4. ស្ថេរភាពគីមី៖ MgF2 មានស្ថេរភាពគីមី ធន់នឹងសារធាតុគីមីជាច្រើន និងរក្សាលក្ខណៈសម្បត្តិអុបទិក និងរូបវន្តរបស់វានៅក្រោមលក្ខខណ្ឌបរិស្ថានដ៏ធំទូលាយ។
5. ស្ថេរភាពកំដៅ: MgF2 មានចំណុចរលាយខ្ពស់ និងអាចទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពការងារខ្ពស់ដោយមិនមានការថយចុះគួរឱ្យកត់សម្គាល់។
ស្រទាប់ខាងក្រោម MgF2 ត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅក្នុងថ្នាំកូតអុបទិក ដំណើរការដាក់ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តស្តើង និងបង្អួចអុបទិក ឬកញ្ចក់នៅក្នុងឧបករណ៍ និងប្រព័ន្ធផ្សេងៗ។ពួកវាក៏អាចបម្រើជាស្រទាប់សតិបណ្ដោះអាសន្ន ឬគំរូសម្រាប់ការរីកលូតលាស់នៃខ្សែភាពយន្តស្តើងផ្សេងទៀត ដូចជាសម្ភារៈ semiconductor ឬថ្នាំកូតលោហធាតុ។
ស្រទាប់ខាងក្រោមទាំងនេះត្រូវបានផលិតជាធម្មតាដោយប្រើបច្ចេកទេសដូចជាការទម្លាក់ចំហាយទឹក ឬវិធីសាស្រ្តដឹកជញ្ជូនចំហាយរាងកាយ ដែលសម្ភារៈ MgF2 ត្រូវបានដាក់នៅលើសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមសមរម្យ ឬលូតលាស់ជាគ្រីស្តាល់តែមួយ។អាស្រ័យលើតម្រូវការកម្មវិធី ស្រទាប់ខាងក្រោមអាចមាននៅក្នុងទម្រង់នៃ wafers ចាន ឬរាងផ្ទាល់ខ្លួន។
